石英玻璃在半导体的应用
发布时间：2023/6/25 15:07:11
389人看过
字号：大 中 小
玻璃在半导体行业主要应用于扩散、氧化、刻蚀、光刻等环节，具体包括：
扩散、氧化环节使用较多的器件产品主要包括石英玻璃扩散管以及和扩散管配套的石英法兰、石英玻璃炉管（支托或运载石英舟进入或者退出扩散炉）、石英舟（承载硅片）、支架（承载多个石英舟）。
刻蚀环节的石英材料使用量也较大；主要产品包括石英环、石英玻璃反应腔和样品支架等。
用于半导体芯片光刻环节中的光掩膜版的主要基板材料也是石英玻璃，一般光掩膜版的石英玻璃基片通常需要采用高纯合成石英锭作为基础材料。
